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杏彩体育:【创·在上海】贾时君:打破芯片耗材“卡脖子”坚冰

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  上海贺东电子材料有限公司总经理,中科院金属研究所工学博士,德国斯图加特大学理学博士。十五年的外企(Praxair)任职经验,经历了从研发项目立项,小试,中试,产业化推广应用的全链条实践,带领团队创造并见证了一个又一个技术项目的成功落地。

  集成电路产业不仅是技术集中产业,也是人才集中的产业。对于芯片耗材的研发和生产,由于既要懂材料,又要熟悉集成电路,复合型人才更是成为了产业的支柱之一。

  上海贺东电子材料有限公司(下文简称“贺东电子”)立足行业需求,以人为核心,展开自主研发。对于人才,贺东电子总经理贾时君认为,面对创业道路上的磕磕绊绊,与志同道合的人一起前行十分重要。

  随着中国成为全球最大半导体市场,国产化提升已成为大势所趋。其中,研发、生产芯片生产所需的耗材 ,包括反应腔体等 ,是集成电路、显示面板、存储器等高技术产品生产所需的不可或缺的关键材料。

  回首过去,半导体设备领域长期由海外龙头垄断,三大设备商(LAM,AMAT,TEL)刻蚀设备全球市占率近90%。目前,国内高端刻蚀设备国产化率不足10%,相关的零部件耗材中,高端涂层的国产化替代还是空白。

  此外,国内企业的产品质量及可靠性必须通过终端用户的机台认证,认证周期长,需要客户的协作支持。因此,国内企业在技术攻关的同时,需要熟悉下业应用场景及工艺要求,才能真正做到持续优化自身产品,满足下游客户的需求。

  “也就是说,服务高端集成电路行业的企业,一定要在这个行业耕耘多年,知己知彼,这是一个门槛。”

  据贾时君介绍,自己是材料领域出身,在德国马普所PML研究的是光学纳米薄膜的制作。此后,在海外和外企积累了不少研发和技术市场化的工作经验。在2020年,母公司河南东微电子材料有限公司筹备规划上海项目,通过与东微电子的董事长和CEO交谈后,发现彼此理念特别契合,并且技术和商业上又非常互补,于是贾时君便踏上了这一段创业之旅。

  作为一家专注于半导体领域刻蚀设备用反应腔内衬的国产化开发及产业化企业,贺东电子的核心团队熟悉芯片制程对设备及零部件的需求,通过优选所使用的原材料、控制核心技术工艺、推出满足芯片制造不同制程需求的涂层产品,使反应腔体表面具有较高的耐等离子刻蚀性及耐等离子冲击性能,达到高端刻蚀工艺需求。先进的涂层技术有助于延长刻蚀腔体的使用寿命及生产良率、保证芯片生产的品质稳定性。

  其核心技术特色包含:大气等离子喷涂工艺制成不同陶瓷涂层,通过等离子高能热源,让材料熔射并附着在加工面上。从而使产品表面具备高耐刻蚀,耐电压等性能。喷涂后匹配高阶表面处理方式,有效控制表面特性。

  此外,贺东电子的团队还自主研发了清洗工艺,在生产车间包括百级以上无尘间,采用先进清洗设备及技术工艺,并严格控制工艺流程及关键工艺参数,通过数次清洗确保表面无细小的纳米或微米级颗粒存在,产品表面颗粒度能满足先进制程工艺的要求。

  同时,先进涂层材料的迭发技术能够大大减少了企业的生产成本。通过对原材料改进、工艺革新实现大气等离子喷涂的高性能涂层。一般情况下,涂层工艺中只有使用PVD等技术才可以达到涂层孔隙率1%以下,但相对的成本也非常昂贵,本方法可降低30~50%涂层的生产成本。

  “第一就是先实现国产替代,追平国际水平。第二就是自主研发,持续创新迭代产品,来满足整机设备及终端用户国产化的需求。”

  “在定方向上,一个原则是差异化。结合客户需求,根据我们的优势,差异化竞争。执行方面,我们强调结果导向,合适的人做合适的事,一人多能,快速反应。这些都和人相关。”

  在人才的招募和培养上,贺东电子遇到了难题,想要通过社会招募,很难遇到与企业完全匹配的人才,即既要懂材料又要熟悉集成电路产业的复合型人才稀缺。

  “我们在一定程度的专业匹配度基础上,主要考虑的就是人员的底层素质,还有对于工作的热情和认可度。所以我们花了非常大的精力在人才的培养上,一直完善我们的培训制度和培训内容。当然对于我们这样的创业公司,其实最好的培训就是实践,大家都是在工作和磨合的过程中成长。”

  带着这支团队,贾时君将贺东电子多年来的技术沉淀和优秀产品呈现到了2023年创新创业大赛的舞台上,并收获了优异的成绩。通过大赛,贾时君表示,这次参赛给予贺东电子一次重新捋思路的机会,利用这个机会,更好地认清了自身的优势和所面对的挑战。

  “同时,在准备大赛的过程中,我们见证了市科创中心的专业度和决心,从赛前培训、创加速营直至进入国赛的跟进和联系,我们看到了主办方的用心,也对自身树立了信心。”

  带着这份信心,贺东电子将在未来国产替代和技术迭代的道路迈出更有利的步伐。贾时君表示,贺东电子在成立之初就有非常清晰的一个布局和方向:

  一方面,贺东电子产品将持续迭代;另一方面,通过进一步垂直化与脚踏实地做服务,贺东电子立志成为领域内的领跑企业,为推动芯片耗材产业的发展贡献更多的力量。

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