作為半導體生產設備的關鍵部件，精密陶瓷部件的研發生產直接影響著半導體裝備制造業乃至整個半導體產業鏈的發展。可以說，精密陶瓷部件是整個半導體產業基礎中的基礎。因此，無論從經濟安全角度還是產業成本角度考慮，要突破我國半導體產業面臨的“卡脖子”窘境，必須重視精密陶瓷部件等半導體生產設備關鍵部件的國產化發展。

　　一是研發體系不健全，具備研發實力的核心企業長期缺位。在科研層面，我國清華大學、中科院上海硅酸鹽研究所等科研院單位在精密陶瓷研發方面雖然有很好的積累，但上世紀九十年代末之后研發投入幾乎停止，精密陶瓷應用收窄，高端產品止步於實驗室而難以量產。在企業層面，陶瓷產業鏈長期存在大而不強的問題，尤其原料環節陶瓷粉體制備水平較日本、德國等仍然差距很大，目前國內結構陶瓷基本限於大量低端陶瓷制品，而且規模都不突出，難以具備足夠的研發實力。

　　二是國內半導體系統、制造及封測廠商慣性採購國外設備與部件，國產部件與材料進入採購體系的難度大。國內部件產品正處於關鍵的摸索提升期，短期難以通過設備龍頭企業的OEM品質認証，更需要國內半導體產業鏈骨干企業的耐心參與及聯合培育。

　　三是關鍵材料的產業投入有待加強。由於研發周期長、開發難度大等因素，目前，對精密陶瓷部件等關鍵材料的產業投入不足。以國家集成電路產業基金為例，對裝備及材料產業的投入僅佔其投資總額的3%，這與其地位作用不匹配。

　　一是培育潛力企業，發揮行業帶動作用。建議國家有關部門在落實《國家集成電路產業發展推進綱要》中，進一步加大對精密陶瓷部件研發和產業的支持。通過整合科研系統與行業協會、聯盟，在全國范圍內集中資源優先甄選扶植一批具有國際競爭力的潛力企業，從而帶動全行業企業發展。

　　二是加強產業協同，整合國內產業資源。建議國家有關部門鼓勵國有裝備、材料、化工等大型企業參與精密陶瓷行業發展。制定裝備及配件國產化的指導性目標，建立財政引導與科技保險相結合的關鍵部件材料國產化引導機制，通過政府財政與市場化保險產品的保障支持，鼓勵國內半導體裝備企業採購國產精密陶瓷部件。鼓勵企業及院校聯合建立技術研發與檢測認証機構，加快建立精密陶瓷等關鍵部件及材料國產化的科技服務體系。

　　三是強化涉企保障，優化產業發展環境。建議國家有關部門在精密陶瓷產業聚集地設立知識產權協助中心，通過縮短知識產權審核授權周期、加大侵權懲戒力度等方式，指導並協助企業處理知識產權糾紛，保護研發創新動力。吸引精密陶瓷重點企業落戶保稅區，通過有限區域的稅收政策差異化，緩解半導體產業當前的研發攻關成本壓力。同時，圍繞精密陶瓷企業專業技術人才培育，加強政策統籌協調，支持地方做好核心團隊成員的落戶、子女就學、醫療等配套保障，尤其是從國外領先企業的引進人才團隊的服務支持。

　　四是發揮市場作用，加大產業投入力度。建議進一步完善上交所、深交所交易功能，借助北京証券交易所的建立新契機，在三家國家級交易所創新設立精密陶瓷等新材料板塊，精准支持具有核心競爭力的新材料中小企業。鼓勵保險、信托等長期資金加大對優秀未上市中小企業的股權投資，打通資本融入、退出的合理通道，為進一步支持新材料類“硬核科技”企業成長清障提速。

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