（以下简称《报告》）。报告对中国晶圆的静电卡盘市场做出全面梳理和深入分析，是智研咨询多年连续追踪、实地走访、调研和分析成果的呈现。

　　为确保晶圆的静电卡盘行业数据精准性以及内容的可参考价值，智研咨询研究团队通过上市公司年报、厂家调研、经销商座谈、专家验证等多渠道开展数据采集工作，并对数据进行度分析，以求深度剖析行业各个领域，使从业者能够从多种维度、多个侧面综合了解2022年晶圆的静电卡盘行业的发展态势，以及创新前沿热点，进而赋能晶圆的静电卡盘从业者抢跑转型赛道。

　　静电卡盘又称静电吸盘（简称ESC）是以库伦定律、洛伦兹定律、J-R效应、电势梯度等为原理依据的新型吸附技术。根据被吸附对象材质的特性采用一种或者多种吸附方式，从而实现对物体有效地吸附。晶圆的静电卡盘是一种利用静电吸附原理将晶圆牢固地吸附在其表面的设备。它可以在晶圆加工过程中为晶圆提供稳定可靠的支撑，同时可以通过背吹气体来控制晶圆的温度。静电卡盘主要由陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统和冷却基体等部分组成。

　　半导体产业具有技术含量高、研发投入大的特点，外资厂商布局较早，在各细分行业基本处于领导地位。我国半导体产业发展起步较晚，技术积累不足。目前我国半导体产业在制造、封测端具有良好行业竞争力，但在设计、材料、设备等方面依然与世界先进水平存在差距，在较大程度上仍然依赖进口，国产化率较低，近年来，在下游需求增长的推动下，我国晶圆的静电卡盘行业市场规模快速增长，但市场基本被国外品牌产品垄断，市场主要以进口产品为主。随着华卓精科生产技术的突破在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，未来，在国家政策的大力支持下，国产晶圆的静电卡盘进口替代空间巨大。据资料显示，2022年我国晶圆的静电卡盘产量为77台，同比增长83.3%；需求量为464台，同比增长14%; 行业市场规模为28037.2万元，同比增长7.7%，其中进口产品规模占比为92.2%，较2017年下降6.3个百分点。区域分布方面，受国内集成电路等生产设备区域布局的影响，我国晶圆的静电卡盘产品消费具有明显区域性特征。2022年华北地区占比为49.74%；华东地区占比35.53%，其他区域占比为14.73%。

　　我国目前静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段，虽部分产品已与业界先进水平持平，但在产品种类方面较行业头部企业仍有较大的差距，且在面向更高节IC制造需求的静电卡盘开发制造技术方面还落后于国际先进水平。国内企业开展静电卡盘研发，华卓精科已实现小规模量产。针对潜在的静电卡盘断供风险，目前已有多家国内制造商展开了静电卡盘的相关布局，并已取得了许多实质性的进展。目前已有包括华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。未来随着国家对关键半导体设备零部件研发的大力支持，美、日企业对我国静电卡盘产业链长期垄断的局面有望得到改变。

　　政策利好行业发展。作为关系国民经济和社会发展的基础性、先导性和战略性产业，集成电路及其相关行业得到了国家的持续关注，政府先后出台一系列针对集成电路及其相关行业的法律法规和产业政策，大力推动行业快速发展。一方面，国家陆续出台了《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》和《国家集成电路产业发展推进纲要》等法律法规和行业政策，鼓励和推进集成电路产业快速发展；另一方面，国家陆续颁布了《关于退还集成电路企业采购设备增值税期末留抵税额的通知》、《关于集成电路企业增值税期末留抵退税有关城市维护建设税教育附加和地方教育附加政策的通知》和《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策》等产业政策，为业内企业创造了有利的税收、研究支持、人才培养环境。

　　发展前景向好。半导体作为国家战略新兴产业，将成为经济增长的新火车头。而晶圆的静电卡盘则为半导体产业的重要组成部分，以重大技术突破和发展需求为基础，对经济社会全局和长远发展具有重大的引领带动作用。经过近几年国家投入力度的加大和政策措施的扶持，战略性新兴产业已初步夯实了发展基础，将逐渐形成新的核心竞争力。 近年来，下业的发展繁荣为中国半导体行业的快速崛起提供了良好的发展环境，同时，在新技术（云计算、人工智能、智能驾驶）逐步兴起的背景下，基于对深度大数据处理的需求大幅增加，将带来晶圆的静电卡盘的快速更新升级，晶圆的静电卡盘行业或迎来大规模发展契机。

　　《中国晶圆的静电卡盘行业市场竞争状况及发展趋向分析报告》是智研咨询重要成果，是智研咨询引领行业变革、寄情行业、践行使命的有力体现，更是晶圆的静电卡盘领域从业者把脉行业不可或缺的重要工具。智研咨询已经形成一套完整、立体的智库体系，多年来服务政府、企业、金融机构等，提供科技、咨询、教育、生态、资本等服务。

　　1：本报告核心数据更新至2022年12月，以中国地区数据为主；预测区间涵盖2023-2029年，数据内容涉及晶圆的静电卡盘产品产量、需求量、市场规模、产品价格等。

　　2：除一手调研信息和数据外，国家统计局、中国海关、行业协会、上市公司公开报告（招股说明书、转让说明书、年报、问询报告等）等权威数据源亦共同构成本报告的数据来源。一手资料来源于研究团队对行业内重点企业访谈获取的一手信息数据，主要采访对象有企业高管、行业专家、技术负责人、下游客户、分销商、代理商、经销商以及上游原料供应商等；二手资料来源主要包括全球范围相关行业新闻、公司年报、非盈利性组织、行业协会、政府机构及第三方数据库等。

　　3：报告核心数据基于公司严格的数据采集、筛选、加工、分析体系以及自主测算模型，确保统计数据的准确可靠。

　　4：本报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于智研团队的专业理解，清晰准确地反映了分析师的研究观点。